Penerangan
Jongkong Silikon Kristal Tunggalis biasanya ditanam sebagai jongkong silinder besar dengan teknologi doping dan penarikan tepat Czochralski CZ, kaedah Czochralski MCZ teraruh medan magnet dan Zon Terapung FZ.Kaedah CZ adalah yang paling banyak digunakan untuk pertumbuhan kristal silikon jongkong silinder besar dalam diameter sehingga 300mm yang digunakan dalam industri elektronik untuk membuat peranti semikonduktor.Kaedah MCZ ialah variasi kaedah CZ di mana medan magnet yang dicipta oleh elektromagnet, yang boleh mencapai kepekatan oksigen rendah secara perbandingan, kepekatan kekotoran yang lebih rendah, kehelan yang lebih rendah dan variasi rintangan seragam.Kaedah FZ memudahkan pencapaian kerintangan tinggi melebihi 1000 Ω-cm dan kristal ketulenan tinggi dengan kandungan oksigen yang rendah.
Penghantaran
Ingot Silikon Kristal Tunggal CZ, MCZ, FZ atau FZ NTD dengan kekonduksian jenis-n atau jenis-p di Western Minmetals (SC) Corporation boleh dihantar dalam saiz 50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm dan diameter 200mm (2, 3). , 4, 6 dan 8 inci), orientasi <100>, <110>, <111> dengan permukaan dibumikan dalam bungkusan beg plastik di dalam dengan kotak kadbod di luar, atau sebagai spesifikasi tersuai untuk mencapai penyelesaian yang sempurna.
.
Spesifikasi teknikal
Ingot Silikon Kristal Tunggal CZ, MCZ, FZ atau FZ NTDdengan kekonduksian jenis-n atau jenis-p di Western Minmetals (SC) Corporation boleh dihantar dalam saiz 50mm, 75mm, 100mm, 125mm, 150mm dan 200mm diameter (2, 3, 4, 6 dan 8 inci), orientasi <100 >, <110>, <111> dengan permukaan dibumikan dalam bungkusan beg plastik di dalam dengan kotak kadbod di luar, atau sebagai spesifikasi tersuai untuk mencapai penyelesaian yang sempurna.
Tidak. | barang | Spesifikasi Standard | |
1 | Saiz | 2", 3", 4", 5", 6", 8", 9.5", 10", 12" | |
2 | Diameter mm | 50.8-241.3, atau mengikut keperluan | |
3 | Kaedah Pertumbuhan | CZ, MCZ, FZ, FZ-NTD | |
4 | Jenis Kekonduksian | P-jenis / Boron didop, N-jenis / Phosphide didop atau Un-doped | |
5 | Panjang mm | ≥180 atau mengikut keperluan | |
6 | Orientasi | <100>, <110>, <111> | |
7 | Kerintangan Ω-cm | Seperti yang dikehendaki | |
8 | Kandungan Karbon a/cm3 | ≤5E16 atau mengikut keperluan | |
9 | Kandungan Oksigen a/cm3 | ≤1E18 atau mengikut keperluan | |
10 | Pencemaran Logam a/cm3 | <5E10 (Cu, Cr, Fe, Ni) atau <3E10 (Al, Ca, Na, K, Zn) | |
11 | Pembungkusan | Beg plastik di dalam, kotak papan lapis atau kotak kadbod di luar. |
Simbol | Si |
Nombor atom | 14 |
Berat Atom | 28.09 |
Kategori Unsur | Metaloid |
Kumpulan, Tempoh, Blok | 14, 3, P |
Struktur kristal | Berlian |
Warna | Kelabu gelap |
Takat lebur | 1414°C, 1687.15 K |
Takat didih | 3265°C, 3538.15 K |
Ketumpatan pada 300K | 2.329 g/cm3 |
Kerintangan intrinsik | 3.2E5 Ω-cm |
Nombor CAS | 7440-21-3 |
Nombor EC | 231-130-8 |
Jongkong Silikon Kristal Tunggal, apabila ditanam sepenuhnya dan memenuhi syarat kerintangan, kandungan kekotoran, kesempurnaan kristal, saiz dan beratnya, diasaskan menggunakan roda berlian untuk menjadikannya silinder yang sempurna dengan diameter yang betul, kemudian menjalani proses goresan untuk menghilangkan kecacatan mekanikal yang ditinggalkan oleh proses pengisaran .Selepas itu jongkong silinder dipotong menjadi blok dengan panjang tertentu, dan diberi takuk dan primer atau sekunder rata oleh sistem pengendalian wafer automatik untuk penjajaran bagi mengenal pasti orientasi kristalografi dan kekonduksian sebelum proses penghirisan wafer hiliran.
Tips Perolehan
Jongkong Silikon Kristal Tunggal